mems是什么技术?

MEMS是微机电系统技术，通过在微小芯片上集成机械结构和电子元件。它结合了半导体工艺和精密加工，尺寸通常在微米到毫米之间。常见应用有手机里的加速度传感器、汽车的安全气囊触发器，以及医疗设备中的微型压力传感器。这项技术让设备变得更小更智能，广泛应用于电子、汽车和医疗领域。

MEMS的制造特点

MEMS制造采用类似集成电路的光刻技术，但增加了刻蚀、沉积等工艺。硅是最常用的材料，因为它的机械性能稳定且成本低。制造过程中需要精确控制温度和压力，确保结构微小但功能可靠。成品MEMS器件可以批量生产，单次就能制造数百万个，大大降低了单个成本。