光刻机是什么材料做成的?

光刻机主要由钢铁、铝合金和特殊陶瓷材料制成。机身框架使用高强度钢材保证稳定性，镜头部分采用石英玻璃和氟化钙晶体确保透光性。精密零件多由钛合金或钨钢制造，耐高温且不易变形。光学镜片表面镀有氟化镁膜层，减少光线反射。设备内部线路板使用铜箔和环氧树脂基板，导电性和绝缘性都很好。

关键材料特性

光刻机的材料选择极为严格。钢铁部分需要经过多次热处理，硬度达到60以上。铝合金必须添加镁和锌元素，轻便且抗腐蚀。石英玻璃的纯度要求极高，每立方厘米杂质不能超过10个原子。钨钢零件的加工精度误差不超过1微米。陶瓷材料要在2000度高温下烧结，确保结构稳定。这些材料共同保证了光刻机在纳米级精度下的可靠运行。