时间:01-18人气:12作者:繁花遮眼
中国目前造不出顶级光刻机,主要差距在光刻镜头、光源和控制系统。荷兰ASML的光刻机有上万个精密零件,中国部分零件依赖进口。比如光刻镜头需要德国蔡司技术,光源由美国企业供应。国内企业正在研发中芯国际的28纳米光刻机,但7纳米以下技术仍落后。华为等企业已投入大量资金攻关,但突破需要时间。
技术难点
光刻机涉及多学科技术,精度要求极高。镜头误差不能超过头发丝的千分之一,震动控制必须达到纳米级别。日本企业垄断部分材料,美国限制高端设备出口。中国需要培养更多专业人才,建立完整产业链。国内实验室已取得一些进展,但距离世界顶尖水平仍有距离。
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