时间:01-19人气:18作者:少女恶习
刻蚀机主要用于半导体制造,芯片生产中需要精确雕刻电路图案。手机、电脑、汽车电子等设备都依赖刻蚀技术。光刻机画出电路后,刻蚀机去除多余材料,形成精细线路。晶圆厂每天使用刻蚀机处理数百片硅片,每片可制造上千个芯片。没有刻蚀机,现代电子设备就无法生产。
刻蚀机的工作原理
刻蚀机用等离子体或化学液体腐蚀材料,精度可达纳米级。干法刻蚀用等离子体轰击表面,干干净净;湿法刻蚀用液体浸泡,适合大面积加工。刻蚀机需严格控制温度和压力,避免损伤芯片。先进刻蚀机能处理5纳米以下工艺,是芯片制造的核心设备。刻蚀一整片晶圆约需1小时,完成后需严格检测质量。
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