中微半导体和上海微电子哪个好?

中微半导体和上海微电子都是国内领先的半导体设备企业，但侧重点不同。中微半导体在刻蚀领域技术实力强，客户覆盖国际大厂；上海微电子则专注于光刻机，尤其在成熟制程设备上有优势。选择取决于具体需求：刻蚀工艺选中微，光刻设备选上海微电子。

对比

中微半导体：专注于刻蚀设备研发，产品包括5纳米及以下制程的等离子体刻蚀机。客户包括台积电、三星等国际企业，技术专利数量超过3000项。2022年营收达50亿元，研发投入占比超20%。设备稳定性高，适合先进制程芯片制造。

上海微电子：国内唯一能研发生产光刻机的企业，覆盖深紫外光刻机（DUV）领域。产品主要用于成熟制程芯片制造，客户以国内晶圆厂为主。累计交付设备超200台，2023年营收30亿元。技术迭代速度较快，但高端光刻机与国际顶尖水平仍有差距。