真空传感器是什么东西?

真空传感器是一种测量气压低于大气压的装置。它能检测容器或系统内的真空程度，广泛应用于工业生产和科研实验。常见的有热传导式、电容式和离子真空传感器，不同类型适用于不同真空范围。半导体制造、航天工程和医疗设备都依赖它确保环境稳定。

真空传感器的工作原理

真空传感器通过感知气体分子数量变化来工作。热传导式利用加热丝温度变化，电容式则检测电极间距离改变。离子真空传感器通过电离气体测量电流。这些传感器能输出电信号，供控制系统实时调整真空度。维护时需避免油污和灰尘，否则会影响测量精度。