光刻机属于什么专业?

光刻机属于精密仪器专业，涉及光学、机械、材料等多个领域。光刻机需要高精度镜头和稳定平台，制造误差控制在纳米级。大学里相关专业有微电子、光学工程、机械设计等。学生要学习光学原理、半导体工艺、自动化控制等课程。光刻机研发需要跨学科团队合作，工程师要懂物理、化学和计算机知识。

光刻机的技术难点

光刻机技术难点在光源和控制系统。深紫外光源要稳定输出，精度要求极高。镜头组由上百片镜片组成，每片误差不超过原子大小。工件台移动速度要快，定位精度达纳米级。光刻胶涂覆厚度要均匀，偏差不能超过几纳米。维护光刻机需要超净环境，空气中的灰尘都会影响良品率。