极紫外光源难点在哪儿?

极紫外光源难点在于制造高能量光子需要极高温度，上亿摄氏度的环境让材料难以承受。激光轰击靶材产生等离子体时，能量转换效率极低，大部分能量变成废热。光学镜片会被高能光子分解，普通材料无法反射这种光。真空环境要求苛刻，任何杂质都会吸收光子。设备体积庞大，成本高昂，维护复杂。

技术瓶颈

极紫外光源需要超高精度激光器，能量波动必须控制在极小范围。靶材材料选择困难，锡靶使用时会产生微小碎屑污染镜片。等离子体稳定性难以控制，每次轰击产生的光子数量不均匀。光学系统需要多层膜反射镜，每层厚度仅几个原子。冷却系统设计复杂，废热处理是巨大挑战。