cvd是什么工艺?

cvd是化学气相沉积工艺，通过化学反应在物体表面形成薄膜。这种工艺能制造金刚石、陶瓷等材料，常用于半导体和工具涂层。cvd在高温下进行，气体原料分解后沉积在基体上，厚度可达微米级。它还能生产碳纳米管和石墨烯，应用广泛。

cvd工艺特点

cvd设备包括反应室和气体输送系统，温度控制在800到1200度之间。工艺周期从几小时到几天不等，取决于涂层厚度。cvd涂层硬度高、耐磨损，适合切削刀具和发动机零件。生产时需控制气体流量和压力，确保均匀性。废气和副产品需处理，避免污染环境。