薄膜硅太阳能电池的制造工艺流程是什么?

薄膜硅太阳能电池的制造工艺包括沉积、刻蚀和封装三步。首先，在玻璃或塑料基板上沉积一层硅薄膜，厚度仅1微米左右。接着，通过激光刻蚀划分出电池单元，形成串联电路。最后，覆盖保护层并封装成组件，确保耐用性。整个过程温度不超过200℃，能耗远低于传统电池。

关键工艺特点

沉积方法有等离子体增强化学气相沉积，能均匀生成硅薄膜。刻蚀环节需精确控制，避免损伤电池结构。封装材料多用乙烯-四氟乙烯，防水抗紫外线。成品重量轻、柔性好，适合建筑表面集成。实验室效率已达13%，量产效率约10%，成本持续下降。