光刻胶属于什么材料大类产品?

光刻胶属于高分子材料产品，是一种特殊的感光树脂。它主要由树脂、感光剂和溶剂三部分组成。光刻胶在芯片制造中起到关键作用，能通过曝光显影形成精密图案。根据曝光方式不同，分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶和极紫外光刻胶等类型。不同波长的光刻胶适用于不同制程的芯片生产。

光刻胶的分类

光刻胶按用途可分为正性光刻胶和负性光刻胶。正性光刻胶遇光后溶解，负性光刻胶遇光后硬化。在半导体制造中，正性光刻胶使用更广泛。光刻胶的性能指标包括分辨率、敏感度和附着力等。随着芯片制程不断缩小，对光刻胶的要求也越来越高。目前最先进的极紫外光刻胶技术主要由少数国家掌握。