晶圆清洗设备寿命多久合适?

晶圆清洗设备寿命一般在5到8年比较合适。设备使用时间过长，零件老化会影响清洗效果，还可能增加故障风险。半导体行业对设备稳定性要求极高，老旧设备容易导致晶圆表面划痕或污染。更换新设备能提升生产效率，降低维护成本。企业通常会根据设备运行状况和工艺需求，提前规划更新周期。

设备维护与更新

定期保养可以延长设备寿命，比如更换过滤器和清洗管道。有些企业采用部分升级的方式，保留核心部件，更新易损件。新设备往往具备更先进的清洗技术，能处理更小的纳米级颗粒。设备采购成本高，但长期使用下来，老旧设备的维修费用可能超过新设备投入。合理规划设备更新时间，能确保生产线持续稳定运行。