时间:01-18人气:16作者:流云渡水
光刻机最早出现在荷兰。1984年,荷兰公司ASML研发出第一台光刻机。这台机器用于半导体制造,能将电路图案印在硅片上。ASML最初只是小企业,后来成为全球光刻机龙头。日本和美国也曾研发光刻机,但荷兰的技术领先至今。如今,ASML的光刻机占据全球市场90%份额,芯片制造离不开它。
光刻机的技术突破
光刻机技术不断升级,从紫外光到极紫外光。荷兰科学家发明了双重曝光技术,精度提升到纳米级别。ASML的EUV光刻机能制造7纳米以下芯片,一台售价超过1亿欧元。韩国、台湾地区的芯片厂都依赖荷兰设备。中国也在努力研发光刻机,但差距仍很大。光刻机被誉为“现代工业皇冠上的明珠”。
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