光刻机是什么东西工作原理?

光刻机是芯片制造的核心设备，精度能达到纳米级别。它通过光线将电路图案投射到硅片上，形成微小的电子元件。一台高端光刻机包含光源、镜头、工件台等部件，价格可达上亿元。荷兰ASML公司垄断了高端市场，其产品能制造7纳米以下的芯片。光刻技术决定了芯片的性能和成本，是现代科技的关键。

光刻机的工作流程

光刻机工作时，先在硅片涂上光刻胶，再用紫外线透过掩模版照射。曝光后，光刻胶发生化学反应，显影时留下需要的图案。硅片经过蚀刻、离子注入等步骤，形成晶体管。这个过程需要重复多次，每层图案都要精确对准。光刻机每秒可曝光数百片硅片，但维护保养极其复杂。