石墨舟打弧是什么意思?

时间:01-18人气:15作者:枕畔红冰薄

石墨舟打弧是指在高温处理过程中,石墨舟表面因电流分布不均或材料缺陷产生电弧放电的现象。这种放电会导致石墨舟局部温度骤升,表面出现烧蚀坑或裂纹,严重时舟体变形甚至断裂。打弧多发生在舟体边缘或焊接处,与电流密度、舟体平整度和炉内气氛有关。打弧不仅损坏石墨舟,还会污染炉内硅片,影响产品质量。

打弧的危害与预防

打弧会缩短石墨舟使用寿命,增加生产成本。预防措施包括定期检查舟体平整度,确保焊接点无毛刺,控制电流在安全范围内。使用前舟体需清洁干净,避免残留导电颗粒。生产中应监控炉内电流波动,发现异常及时停机检查。新舟体使用前需进行预烧处理,减少打弧风险。

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