时间:01-19人气:17作者:走过孤独
振华镀膜机光栅阀打开时,腔内气体流通,真空度下降,适合需要气体参与的工艺;关闭时,腔体密封,真空度提升,适合高真空环境下的精密镀膜。
区别
光栅阀打开:腔体与外界连通,气体进入,真空度降低到10-1帕左右,适合需要活性气体反应的镀膜工艺,如氧化或氮化处理。此时镀膜速率较快,但膜层均匀性可能受气流影响,适合对气体环境要求不高的场景。
光栅阀关闭:腔体完全密封,真空度提升至10-5帕以上,形成高真空环境,适合金属或合金材料的精密镀膜。此时气体干扰极少,膜层致密性和附着力更好,但镀膜速率较慢,适合对纯度和精度要求极高的应用。
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