时间:01-20人气:15作者:十里荷花
光刻机一次刻一个晶圆,不是单颗芯片。晶圆是整片圆形硅片,上面布满数百颗芯片,光刻机通过一次曝光在整片晶圆上同步形成电路图案。后续步骤再将晶圆切割成独立芯片。
对比
单颗芯片刻制:效率极低,成本高昂。如果逐颗芯片加工,每颗都需要重复定位、曝光,耗时是晶圆方式的数百倍。一台设备一天只能处理几颗芯片,而现代芯片制造每天需处理数千颗,这种模式完全不适应大规模生产需求。
整片晶圆刻制:效率与成本优势明显。一次曝光可同时加工晶圆上所有芯片,定位精度达纳米级。以300毫米晶圆为例,单次可处理数百颗芯片,设备利用率提高20倍以上,大幅降低单颗芯片制造成本,满足量产需求。
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