半导体工艺和设备哪个好?

半导体工艺和设备都很重要，但工艺更关键。工艺决定了芯片的性能和良率，是技术核心。设备是实现工艺的工具，先进设备能提升工艺水平，但工艺优化能弥补设备不足。

对比

半导体工艺：工艺是芯片制造的“灵魂”，包括光刻、蚀刻、薄膜等步骤。工艺越先进，芯片性能越高、功耗越低。比如7纳米工艺比10纳米工艺速度快20%，省电30%。工艺突破能带动整个产业发展，但研发周期长，投入大，需要持续创新。

半导体设备：设备是工艺的“手脚”，光刻机、刻蚀机等直接影响制造精度。顶级设备能实现更高工艺水平，但价格昂贵，维护成本高。一台EUV光刻机价值上亿元，一台刻蚀机也要数千万。设备依赖进口，技术壁垒高，自主化难度大。