时间:01-19人气:22作者:幸福的距離
光刻机主要生产国家有荷兰、日本和美国。荷兰的阿斯麦公司占据全球市场超过70%份额,其极紫外光刻机技术领先。日本企业如尼康和佳能也能生产深紫外光刻机,但高端市场较少涉足。美国企业应用材料公司提供部分关键设备组件,整机生产较少。中国台湾地区的台积电和韩国的三星公司虽不生产整机,但大量采购使用光刻机。
光刻机技术特点
光刻机精度以纳米为单位,最先进的能达到3纳米级别。荷兰的极紫外光刻机售价超过1.5亿美元,一台机器相当于一栋别墅价格。日本企业生产的深紫外光刻机价格约为5000万美元。光刻机内部有超过10万个精密零件,组装需要数月时间。光刻机工作时需要无尘环境,车间空气洁净度比医院手术室高100倍。一台光刻机每年能处理数百万片晶圆,每片晶圆可制造数千个芯片。
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