芯片靶材是什么意思?

芯片靶材是制造芯片时用的关键材料，主要成分有铜、铝、钛等金属。它被做成圆片形状，放在真空设备里通过溅射技术，在硅片上形成导电层或绝缘层。靶材纯度要求极高，哪怕有少量杂质都会影响芯片性能。不同芯片需要不同成分的靶材，比如逻辑芯片用铜靶，存储芯片用钽靶。

靶材的重要性

芯片靶材的质量直接决定芯片的良品率。一块直径300毫米的靶材能生产上万片晶圆，但靶材表面一旦有划痕，溅射时就会导致薄膜不均匀。靶材消耗速度很快，生产过程中需要不断更换。高端靶材技术长期被日本企业垄断，中国正在努力突破这项技术。靶材回收再利用也是行业关注的问题。