磁控溅射主流是采用交流还是直流的?

磁控溅射主流采用直流电源。直流溅射操作简单，成本低，适合导电材料如金属和合金。但直流溅射在绝缘材料上效果差，容易积累电荷导致放电中断。交流溅射通过高频电源解决绝缘材料问题，但设备复杂，成本高。工业生产中直流溅射应用更广泛，尤其是金属镀膜领域。

交流与直流的对比

直流溅射稳定性好，溅射速率快，适合大规模生产。交流溅射能处理绝缘材料，如陶瓷和氧化物，但频率和功率控制要求高。实际选择时，材料类型决定电源方式。金属镀膜多用直流，绝缘材料镀膜多用交流。两种方法各有优势，具体需求决定使用场景。