蚀刻机和光刻机是什么关系?

蚀刻机和光刻机都是半导体制造中的关键设备，但功能不同。光刻机负责将电路图案精准转移到晶圆上，类似“拍照”；蚀刻机则负责去除多余材料，留下图案，像“雕刻”。光刻精度极高，决定最小线宽；蚀刻影响成品良率，两者缺一不可。

工艺流程中的角色

光刻机先“画”出电路轮廓，蚀刻机接着“挖”掉不需要的部分。光刻用紫外光或电子束，蚀刻用化学液体或等离子体。没有光刻，蚀刻无图案可依；没有蚀刻，光刻图案无法成型。两者配合完成芯片的微观结构制造。