时间:01-17人气:19作者:厌倦生活
光刻机技术由荷兰主导研发,全球最先进的极紫外光刻机由荷兰阿斯麦尔公司生产。美国、日本和德国也参与部分核心部件供应。中国台湾的台积电和韩国的三星是主要客户。这项技术涉及光学、材料学、精密制造等多个领域,需要全球合作完成。中国正在努力自主研发光刻机,但差距仍然较大。
光刻机的技术难点
光刻机零件超过10万个,精度要求达到纳米级别。光源系统需要同步加速器产生极紫外光,镜头必须由德国蔡司公司制造。一台设备售价超过1.5亿美元,研发耗时20年。荷兰政府严格限制出口,仅允许少数国家购买。维护设备需要专业团队,每次停机损失可达数百万美元。
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