光刻胶属于什么材料类型?

时间:01-17人气:23作者:旧岛听风

光刻胶是一种感光材料,主要用于半导体和微电子制造。它分为正性和负性两种类型,正性光刻胶遇光后会溶解,负性则会固化。光刻胶由树脂、感光剂和溶剂组成,涂在硅片上后通过紫外线曝光形成图案。这种材料能精确刻画微米级线条,是芯片制造的关键材料之一。

光刻胶的特性

光刻胶对光线敏感,曝光后会发生化学反应。不同波长的紫外线会影响其固化效果,需要匹配相应的光源。光刻胶的厚度一般在1到5微米之间,过厚会导致图案变形。使用时需在洁净环境中操作,避免杂质影响精度。失效的光刻胶需用特殊溶剂清洗,不能随意丢弃。

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