刻蚀机到底是什么意思?

刻蚀机是一种用于制造芯片的精密设备，它通过物理或化学方法去除材料表面不需要的部分。在芯片生产中，光刻后需要用刻蚀机精确雕刻出电路图案。刻蚀机分为干法刻蚀和湿法刻蚀两种，干法用等离子体轰击材料，湿法用化学液体溶解材料。台积电、三星等芯片厂都依赖这种设备制造先进芯片。

刻蚀机的工作原理

刻蚀机工作时，先在晶圆表面覆盖光刻胶，通过紫外线曝光形成电路图案。然后，刻蚀机会根据图案去除多余材料。干法刻蚀机内部有真空腔体，通入气体产生等离子体；湿法刻蚀机则将晶圆浸泡在腐蚀液中。一台刻蚀机每天能处理数百片晶圆，精度可达纳米级别。刻蚀速度和均匀性直接影响芯片良品率。