镀膜沉积速率高会怎么样?

镀膜沉积速率过高会导致薄膜质量下降。涂层可能出现不均匀、开裂或脱落，附着力变差。沉积过快还会使薄膜内部应力增大，影响机械性能。高速率下杂质容易混入，降低纯度。生产时需控制速率，确保薄膜致密稳定。

沉积速率高的影响

高沉积速率会增加设备负担，缩短靶材寿命。工艺窗口变窄，参数调整难度大。薄膜厚度控制精度降低，批次一致性差。高速率还可能引发等离子体不稳定，影响膜层均匀性。实际生产中需平衡速率与质量，优化工艺条件。