半导体cvd是什么部门?

时间:01-18人气:15作者:糖果小妮子

半导体CVD是化学气相沉积部门的简称,主要负责在硅片表面生长薄膜。这个部门使用气体化学反应,沉积出绝缘层、导电层或保护层。CVD技术能制造出纳米级厚度的薄膜,精度极高。芯片制造中,CVD步骤必不可少,直接影响芯片性能。

CVD的工作流程

CVD部门先处理硅片表面,通入特定气体混合物。高温下气体发生反应,形成固体薄膜附着在硅片上。这个过程需要精确控制温度和压力,确保薄膜均匀。不同气体组合能生产出氧化硅、氮化硅等材料。CVD设备每天可处理数百片硅片,是芯片工厂的核心环节之一。

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