一台光刻机多少个零件?

一台高端光刻机包含超过10万个精密零件，涉及光学、机械和电子等多个领域。镜头系统由上百块透镜组成，每块透镜误差需控制在纳米级别。工件台移动精度达原子级别，依赖数千个传感器控制。真空泵、激光器和冷却系统等部件协同工作，确保稳定运行。这些零件来自全球不同供应商，组装过程需超洁净环境。

光刻机的制造难点

光刻机零件要求极高，部分零件误差小于1纳米，相当于头发丝的十万分之一。镜片材料需特殊玻璃，加工周期长达数月。超精密电机每转一步仅几纳米，依赖独家技术。温度波动会影响精度，因此恒温控制必不可少。单个零件缺陷可能导致整台设备报废，因此检测环节极为严格。