磁控溅射用的是正电压还是负电压?

磁控溅射使用的是负电压。靶材接负极，工件接正极，形成电场。氩气电离后产生正离子，被负极吸引轰击靶材，溅射出原子沉积在工件上。电压大小影响溅射速率，一般控制在几百伏特。负电压越高，离子能量越大，溅射效率越高。

磁控溅射的电压作用

负电压在靶材表面形成强电场，加速氩离子撞击靶材。磁场约束电子运动，增加电离概率，提高等离子体密度。电压稳定性直接影响膜层均匀性，波动会导致膜厚不均。实际操作中，电压需根据材料调整，过高可能损伤靶材或产生过多杂质。