荷兰光刻机是多少纳米的材料?

时间:01-19人气:20作者:桃腮带笑

荷兰光刻机使用极紫外光技术,精度可达7纳米以下。这种机器需要超高纯度材料,如特殊玻璃和金属合金。镜片由多层硅和钼交替镀膜,每层厚度仅几纳米。设备内部有数千个精密零件,误差控制在原子级别。光刻机运行时需在真空环境中工作,避免任何杂质干扰。

光刻机的制造难度

光刻机零件来自全球20多个国家,组装需超净车间。一台机器重达180吨,运输需专门车辆和桥梁加固。生产周期长达5年,价格超过1亿欧元。荷兰ASML公司每年仅产50台,需客户提前两年预订。这种机器被视为现代工业的巅峰之作,集合了人类最顶尖的科技。

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