光刻机是什么材料?

光刻机主要由钢铁、铝合金和特殊玻璃制成。机身框架使用高强度钢材，确保设备稳定。光学系统依赖石英玻璃和氟化钙透镜，精度达纳米级。关键零件如镜头和反射镜采用超纯材料，减少杂质影响。导轨和轴承选用陶瓷或合金，提高耐用性。部分组件需要镀膜处理，增强抗腐蚀能力。

光刻机的材料要求

光刻机材料必须耐高温、抗振动。光学元件需长期保持形状不变，避免热胀冷缩。玻璃和晶体材料经过精密抛光，表面误差小于头发丝的千分之一。金属零件表面光滑，减少摩擦损耗。涂层材料能隔绝外界污染，延长使用寿命。特殊合金在极端环境下仍能稳定工作，保证生产精度。