时间:01-18人气:14作者:叶蔷薇
光刻胶是半导体制造中的关键材料,用于芯片图案的转移。它涂覆在晶圆表面,通过曝光显影形成精细电路。光刻胶分为正胶和负胶,正胶遇光溶解,负胶遇光固化。光刻胶的性能直接影响芯片的线宽和良率。随着芯片制程不断缩小,光刻胶的技术难度也在提升。日本和美国的企业在高端光刻胶领域占据主导地位。
光刻胶的应用领域
光刻胶主要用于集成电路、面板和LED制造。在芯片生产中,光刻胶需要多次涂覆和曝光。面板产业需要大尺寸光刻胶,对均匀性要求极高。LED芯片制造则使用特殊波段的光刻胶。光刻胶的纯度必须达到电子级,杂质控制在十亿分之一以下。光刻胶的生产环境需要恒温恒湿,避免颗粒污染。
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