光刻机是什么机器设备?

时间:01-20人气:26作者:犇羴骉

光刻机是制造芯片的核心设备,能在硅片上刻出纳米级电路图案。它通过紫外线或极紫外光,把电路设计图精准转移到硅片表面。一台高端光刻机包含光源、镜头和精密控制系统,精度可达几纳米。荷兰的ASML公司垄断了高端市场,一台机器价值上亿元。光刻机技术门槛极高,涉及光学、材料和机械等多领域知识。

光刻机的工作原理

光刻机先在硅片涂上光刻胶,再用光束照射特定区域。曝光后,光刻胶会改变性质,通过显影液洗掉不需要的部分,留下电路图案。这个过程需要重复多次,才能完成复杂芯片的制造。光刻机的镜头由数十块镜片组成,每块镜片误差不超过几纳米。光刻技术进步直接推动芯片性能提升,是科技竞争的关键领域。

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