时间:01-18人气:22作者:纸鸢栀年
外延层是在单晶衬底上生长的一层薄薄的材料,多为半导体化合物。常见的材料有砷化镓、磷化铟和氮化镓。这些材料通过化学气相沉积或分子束外延技术制备。外延层的厚度从几微米到几纳米不等,晶体结构必须与衬底匹配。外延层用于制造激光器、太阳能电池和高频晶体管,是现代电子器件的核心组成部分。
外延层的制备方法
外延层制备需要高温和超高真空环境。化学气相沉积将气体前驱物分解在衬底表面,分子束外延则用原子束逐层沉积。生长过程中要控制温度和气流速度,确保晶体质量。外延层必须无缺陷和杂质,否则会影响器件性能。制备完成后需通过显微镜和光谱仪检测,确认厚度和成分符合要求。
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