半导体pod是什么意思?

半导体pod是一种用于半导体制造的精密设备，主要用于晶圆的传输和存储。它由防静电材料制成，内部有多个插槽，可以安全放置晶圆。pod通常在无尘车间中使用，确保晶圆不受污染。不同尺寸的晶圆需要对应规格的pod，比如200毫米和300毫米的晶圆就有不同的pod型号。半导体pod还带有条码或芯片，方便追踪和管理。

半导体pod的应用场景

半导体pod在芯片生产中起到关键作用，用于晶圆在不同工序间的流转。工人通过机械臂或手动操作将pod放入设备，完成光刻、蚀刻等流程。pod的设计要考虑防震和防尘，避免晶圆受损。有些pod还能调节内部温度，保护敏感材料。随着技术发展，pod的自动化程度越来越高，提高了生产效率。