时间:01-19人气:10作者:纸鸢栀年
荷兰光刻机代表全球最尖端的光刻技术,目前最先进的EUV光刻机能制造3纳米及以下的芯片。这种设备使用极紫外光技术,精度可达原子级别。一台EUV光刻机价值超过1.5亿美元,重量达180吨,需要40架飞机运输。全球仅少数企业能生产,荷兰ASML公司占据主导地位。中国台湾、韩国、美国等地区的芯片厂都依赖这种设备生产先进芯片。
光刻机的技术难点
光刻机集成了10万多个精密零件,镜头由德国蔡司公司制造,精度误差小于原子直径。光源系统由美国Cymer公司提供,需在真空中工作。一台设备研发耗时10年以上,涉及全球5000多家供应商。光刻机工作时每秒发射5万次激光,对环境要求极高,车间需恒温恒湿。这种技术壁垒使其他国家难以复制,形成垄断局面。
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