中国能生产duv光刻机吗?

中国目前可以生产部分DUV光刻机，但高端机型仍依赖进口。上海微电子已研发出90纳米工艺的DUV设备，用于成熟制程芯片生产。中芯国际等企业使用这些设备制造28纳米以上芯片。7纳米以下先进工艺所需的光刻机，如EUV设备，中国尚未完全掌握核心技术。

技术挑战

DUV光刻机涉及10万个精密零件，光源、镜头等核心部件技术门槛极高。荷兰ASML垄断全球市场，中国需突破光刻胶、物镜等关键技术。国内企业正在加速研发，但量产高端设备仍需时间。短期内，中国DUV光刻机主要用于成熟制程，满足国内部分需求。