镀膜设备中直流源是什么东西?

镀膜设备中的直流源是提供稳定直流电的核心部件，用于在真空环境中驱动靶材溅射或蒸发。它输出电压范围一般在几百到几千伏，电流可调至几十安培。直流源确保镀膜过程均匀稳定，常见于磁控溅射或离子镀设备。工作时，它将市电转换成直流电，通过阴极靶材产生等离子体，使金属或化合物沉积在工件表面。

直流源的工作原理

直流源内部包含整流、滤波和稳压电路，输出纯净的直流电。它通过控制电流大小调节镀膜速率，电压高低影响等离子体密度。设备运行时，直流源持续供电，避免镀层出现厚度不均。部分高端直流源还具备过压保护功能，防止设备损坏。维护时需检查散热系统，确保长时间工作稳定。