外延是覆盖在衬底上还是向外生长?

时间:01-17人气:25作者:指流砂

外延生长是向外生长,不是覆盖在衬底上。外延层在衬底表面逐渐形成晶体结构,原子按衬底晶格排列延伸。常见方法有气相外延和分子束外延,温度和速度控制生长质量。外延层厚度可达微米级,用于制造半导体器件和光学材料。

外延生长特点

外延生长依赖衬底晶格匹配,错配会导致缺陷。生长速率受温度、压力和气体流量影响,过快会产生裂纹。外延层纯度高,杂质少,适合制造激光二极管和太阳能电池。衬底和外延层材料不同,如硅上生长氮化镓,形成异质结构。

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