时间:01-17人气:14作者:汀南雪
光刻胶是芯片制造的关键材料,属于芯片产业链的一部分。芯片生产需要光刻胶在硅片上精确绘制电路图案。没有光刻胶,芯片上的微小线路无法形成。光刻胶的质量直接影响芯片性能和良率。高端芯片依赖进口光刻胶,国产替代正在加速。光刻胶分为正胶和负胶,不同类型适用于不同制程。
光刻胶的作用
光刻胶在芯片制造中充当"光敏涂料"。紫外线透过掩模版照射光刻胶,曝光区域发生化学反应。显影时,未曝光或曝光部分被洗掉,留下所需图案。图案越精细,芯片集成度越高。光刻胶厚度仅几微米,却决定芯片最小线宽。先进制程需要更敏感的光刻胶,研发难度极大。光刻胶成本占芯片制造总成本的10%左右。
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