一台光刻机配几台刻蚀机好?

一台光刻机一般搭配3到5台刻蚀机比较合适。光刻机负责在晶圆上刻电路图案，刻蚀机负责去除多余材料。比如一条生产线有2台光刻机，就需要6到10台刻蚀机配合。刻蚀机工作速度快，光刻机步骤多，这样搭配能保持生产节奏。不同芯片厂会根据产量调整数量，但比例基本固定。

刻蚀机的作用

刻蚀机把光刻机画的图案变成实际电路。一台刻蚀机每天能处理上千片晶圆，光刻机只能处理几百片。刻蚀机种类多，有干法刻蚀和湿法刻蚀，分工不同。比如干法刻蚀用于精细线条，湿法刻蚀用于清理残留。刻蚀机出问题会导致整批晶圆报废，所以数量要足够备用。