中国可以自己制造光刻机吗?

中国已经能制造部分光刻机设备，但高端光刻机仍依赖进口。上海微电子28纳米光刻机已进入测试阶段，7纳米技术还在攻关。光刻机涉及10万个零件，精度要求极高，镜片误差需小于原子大小。国内企业如中芯国际、华为正在加速国产化替代，但技术突破需要时间。

光刻机制造难点

光刻机需要全球供应链支持，荷兰ASML垄断高端市场。德国蔡司提供镜头，美国应用材料供应部件，技术封锁让自主生产更难。中国投入千亿资金研发，但光刻胶、光源等核心材料仍存短板。未来5到10年，中国有望实现中低端光刻机完全自主，高端机型还需持续攻关。