一片晶圆需要多少水分?

一片晶圆制造过程需要超纯水，用水量极大。从清洗到蚀刻，每个环节都离不开水。一片300毫米的晶圆，光清洗就要用掉几千升超纯水。工厂每天可能消耗数万吨水，相当于一个小镇的日常用水量。半导体工厂通常建在水源丰富的地方，确保供水稳定。

晶圆的水循环

晶圆厂会回收利用大部分水。废水经过多级处理，去除杂质后重新投入使用。反渗透和离子交换技术能将水质提升至18.2兆欧姆·厘米，接近绝对纯净。回收率可达九成以上，大幅减少浪费。有些工厂还收集雨水补充水源，实现可持续生产。