时间:01-20人气:30作者:稳步沙场
光刻机是制造芯片的核心设备,用于在硅片上刻出微小的电路图案。它通过紫外线将电路设计投影到硅片表面,再经过蚀刻形成晶体管。光刻精度决定芯片性能,最先进的机器能刻出5纳米以下的线条。全球只有少数企业能生产高端光刻机,价格可达上亿元。
光刻机的工作原理
光刻机像超级投影仪,把电路图缩小到极致后印在硅片上。光源波长越短,刻的线条越细。一台机器包含镜头、光源和精密控制系统,工作时需无尘环境。硅片要经过多次光刻才能完成复杂电路,一块芯片可能需要几十道工序。光刻机精度要求极高,震动误差不能超过原子直径。
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