时间:01-20人气:28作者:華燈初上
造EUV光刻机极其困难,需要全球顶尖技术协作。荷兰阿斯麦公司整合了美国、德国、日本等国的核心部件,光源系统由德国蔡司提供,反射镜精度达到原子级别。一台EUV售价超过1.5亿美元,制造周期长达2年。中国目前无法独立生产,关键设备被禁运,技术封锁层层加码。
技术壁垒
EUV光刻机涉及10万个零件,精度要求极高。光源功率达250瓦,相当于太阳表面温度。反射镜必须平整到0.1纳米,相当于头发丝直径的六十万分之一。维护环境需超洁净车间,空气颗粒物比手术室少100倍。全球仅阿斯麦能量产,其他国家连图纸都看不到。
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