等离子体刻蚀是各向异性吗?

等离子体刻蚀具有明显的各向异性特征。离子在电场作用下垂直轰击晶圆表面，而化学反应主要发生在水平方向。这种垂直方向的优先刻蚀使得线条边缘陡峭，适合精细图形加工。不同气体组合能调整各向异性程度，比如氟基气体增强侧向腐蚀，氯基气体则更垂直。刻蚀深度、功率和压力都会影响各向异性效果。

各向异性的影响因素

各向异性强弱与离子入射角度直接相关。离子能量越高，垂直刻蚀越强，但过高的能量会导致晶圆损伤。光刻胶的厚度和均匀性也会影响各向异性表现，较厚的胶层能提供更好的保护。在先进制程中，通过调整射频功率和脉冲频率，可以精确控制各向异性程度，满足不同图形的刻蚀需求。