时间:01-18人气:30作者:安琪拉屎
光刻胶是一种感光材料,主要由树脂、感光剂和溶剂组成。它在芯片制造中起到关键作用,能通过紫外线曝光形成图案。光刻胶分为正性和负性两种,正性胶曝光后溶解,负性胶曝光后硬化。不同工艺需要不同类型的光刻胶,比如深紫外光刻用KrF胶,极紫外光刻用EUV胶。光刻胶的性能直接影响芯片的精度和良率。
光刻胶的应用
光刻胶广泛应用于半导体、印刷电路板和微电子器件制造。在芯片生产中,光刻胶涂在硅片上,通过掩模版曝光后显影,形成电路图形。光刻胶的厚度通常在0.5到5微米之间,需要均匀涂布。随着制程工艺进步,光刻胶的分辨率要求越来越高,从微米级到纳米级。光刻胶的研发是半导体行业的重要环节,技术门槛极高。
注意:本站部分文字内容、图片由网友投稿,如侵权请联系删除,联系邮箱:happy56812@qq.com