中国国内有光刻机吗?

中国国内确实有光刻机，但高端光刻机主要依赖进口。上海微电子研发的SSA800/10W光刻机可用于90纳米工艺，中芯国际等企业已投入使用。华为、中科院等机构也在攻关更先进的光刻技术。目前国产光刻机在精度上与国际顶尖水平仍有差距，但正在逐步突破技术瓶颈。

光刻机的技术挑战

光刻机制造涉及光学、材料、精密机械等十多个领域。荷兰ASML的EUV光刻机包含超过10万个零件，单价超过1.5亿美元。国产光刻机需要攻克光源系统、镜头精度等核心难题。长江存储、长鑫存储等企业已开始试用国产设备，推动产业链自主化进程。