光刻机是哪个国家专利技术?

光刻机专利技术由荷兰阿斯麦尔公司主导研发，这家企业位于荷兰费尔德霍芬市。光刻机涉及德国蔡司公司的镜头技术，美国应用材料公司的设备部件，以及日本东京电子的制造工艺。全球光刻机市场被阿斯麦尔垄断，其产品供应台积电、三星等芯片巨头。中国、韩国、美国等国家都在投入资金研发同类技术，但尚未突破其技术壁垒。

光刻机的技术构成

光刻机由上万个精密零件组成，包括光源系统、镜头模块、工件台等核心部件。德国蔡司提供高精度镜头，误差不超过几纳米；美国光源公司供应深紫外光源；日本企业负责精密机械加工。一台高端光刻机重达180吨，需要40架飞机运输。荷兰政府严格限制技术出口，中国中芯国际曾尝试购买但未获批准。