制造一台光刻机需要多少配件呢?

制造一台光刻机需要超过10万个精密配件，包括镜头、激光源、机械臂和真空系统等。核心部件如物镜镜片误差不能超过1纳米，相当于头发丝的十万分之一。还需数千个传感器和电路板，确保机器运行稳定。这些配件来自全球各地，组装过程需在无尘环境完成，任何微小杂质都会影响精度。

配件的精密要求

光刻机的配件必须耐高温、抗振动，材料包括特种陶瓷和钛合金。激光器每秒发射数千次脉冲，镜片需承受高能冲击。真空系统要排除空气分子，防止光线散射。冷却系统每小时循环数吨液氮，维持设备恒温。这些配件协同工作，才能在硅片上刻出纳米级电路，一块芯片背后是无数配件的精密配合。